摘要：一種淀積源，所述淀積源包括坩鍋和本體，該坩鍋用來(lái)包含淀積材料，該本體包括傳導(dǎo)通道。傳導(dǎo)通道的輸入部聯(lián)接到坩鍋的輸出部上。加熱器加熱坩鍋，從而坩鍋將淀積材料蒸發(fā)到傳導(dǎo)通道中。隔熱屏在加熱器和本體中的至少一者周圍定位，該隔熱屏包括多個(gè)耐熱材料層。多個(gè)噴嘴聯(lián)接到傳導(dǎo)通道的輸出部上，從而蒸發(fā)淀積材料從坩鍋通過傳導(dǎo)通道運(yùn)輸?shù)蕉鄠€(gè)噴嘴，從而，蒸發(fā)淀積材料從多個(gè)噴嘴排出，以形成淀積通量。
- 專利類型PCT發(fā)明
- 申請(qǐng)人維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達(dá)爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美國(guó)紐約
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201080059918.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年06月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102712993A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年10月03日
- 分類號(hào)C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;
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