摘要：本發(fā)明公開了一種用于有機(jī)電致發(fā)光器件的蒸發(fā)設(shè)備，包括蒸發(fā)掩膜裝置及蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)掩膜裝置包括蒸發(fā)腔體及至少一個(gè)掩膜板，所述蒸發(fā)腔體的上端開口，有機(jī)電致發(fā)光器件水平放置于所述蒸發(fā)腔體的上端開口處；所述蒸發(fā)源設(shè)置在所述蒸發(fā)腔體的下方，所述蒸發(fā)腔體的下端開口，且朝向所述蒸發(fā)源；所述掩膜板水平安裝在所述蒸發(fā)腔體內(nèi)；所述掩膜板上開設(shè)多個(gè)通孔，多個(gè)所述通孔均勻分布于所述掩膜板。由于掩膜板上設(shè)置有多個(gè)均勻分布的通孔，使在單位時(shí)間內(nèi)通過掩膜板的蒸發(fā)材料速度發(fā)生變化，在不改變蒸發(fā)源蒸發(fā)熱量的情況下，能夠使材料的蒸發(fā)實(shí)現(xiàn)一個(gè)非常低的蒸發(fā)速度；多個(gè)通孔均勻分布于掩膜板，可使得蒸發(fā)材料分布均勻，保證器件的發(fā)光效果。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術(shù)有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發(fā)明人周明杰;馮小明;張振華;王平;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道海王大廈A座22層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310210296.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年05月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104213077A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年12月17日
- 分類號(hào)C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;
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