摘要：本實(shí)用新型公開了一種等位近距離薄膜沉積生長系統(tǒng)，它包括箱體，箱體上設(shè)有爐體，爐體兩端設(shè)有支撐桿，爐體的下端設(shè)有下法蘭，下法蘭上端通過下加熱臺支撐架固定連接有下加熱臺，下加熱臺上設(shè)有載物臺，爐體的上端設(shè)有上外接法蘭，上外接法蘭下端通過上加熱臺支撐架固定連接有上加熱臺，所述的支撐桿上設(shè)有旋轉(zhuǎn)支撐架，該旋轉(zhuǎn)支撐架包括轉(zhuǎn)動連接在支撐桿上的固定座和固定螺栓，該固定座和固定螺栓之間垂直設(shè)有導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿上滑動連接一升降桿，升降桿與上外接法蘭固定連接；本實(shí)用新型一種等位近距離薄膜沉積生長系統(tǒng)，它結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷，可以實(shí)現(xiàn)等位沉積，準(zhǔn)確控制基片正反面溫場，解決了分子漂移擴(kuò)散損耗問題，和長距離的溫度線性不穩(wěn)定等問題，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)快速升降溫，節(jié)約了工時(shí)功效。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人孔令杰;
- 地址230041 安徽省合肥市廬陽區(qū)濉溪路312號
- 申請?zhí)?/b>CN201320213916.6
- 申請時(shí)間2013年04月25日
- 申請公布號CN203373416U
- 申請公布時(shí)間2014年01月01日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
