摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接；本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開(kāi)關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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