摘要：一種基于物料供應(yīng)系統(tǒng)模型的流量控制方法，該方法具體包括：根據(jù)物料供應(yīng)系統(tǒng)特點(diǎn)建立傳遞函數(shù)反應(yīng)模型；其中，物料供應(yīng)系統(tǒng)包括流量控制機(jī)構(gòu)和被控反應(yīng)腔室，其中，被控反應(yīng)腔室有壓力計(jì)監(jiān)控壓力；定義偏差并引入?yún)⒖驾斎肫罘e分系統(tǒng)，建立增廣狀態(tài)狀態(tài)方程；獲取物料供應(yīng)系統(tǒng)系統(tǒng)狀態(tài)反饋控制律；通過物料供應(yīng)系統(tǒng)的閉環(huán)特征方程式求得反饋控制律參數(shù)；根據(jù)被控反應(yīng)腔室端的壓力狀態(tài)作為檢測信號，以及反饋控制律參數(shù)，對被控反應(yīng)腔室進(jìn)行同步調(diào)節(jié)流量控制機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了物料流量的優(yōu)化控制及反應(yīng)腔室的壓力穩(wěn)定。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉建濤;鐘結(jié)實(shí);王春洪;徐冬;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410307167.2
- 申請時間2014年06月30日
- 申請公布號CN104073785A
- 申請公布時間2014年10月01日
- 分類號C23C16/52(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;
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