摘要：本發(fā)明提供一種LPCVD工藝生產(chǎn)環(huán)境的控制方法，包括：步驟S1，所述溫度傳感器采集所述反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度信息、所述真空度傳感器采集所述反應(yīng)腔室內(nèi)的真空度信息；步驟S2，所述反饋控制裝置獲得所述溫度信息和真空度信息，并根據(jù)所述溫度信息和真空度信息計(jì)算得出反饋控制增益參數(shù)；步驟S3，所述反饋控制裝置根據(jù)所述溫度信息和對(duì)應(yīng)的反饋控制增益參數(shù)生成溫度控制信號(hào)，根據(jù)所述真空度信息和對(duì)應(yīng)的反饋控制增益參數(shù)生成真空度控制信號(hào)，并發(fā)送至所述溫度調(diào)節(jié)裝置和真空度調(diào)節(jié)裝置；步驟S4，所述溫度調(diào)節(jié)裝置根據(jù)所述溫度控制信號(hào)調(diào)節(jié)所述反應(yīng)腔室內(nèi)的溫度；所述真空度調(diào)節(jié)裝置根據(jù)所述真空度控制信號(hào)調(diào)節(jié)所述反應(yīng)腔室內(nèi)的真空度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王峰;程朝陽;張芳;張海輪;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310298738.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年07月16日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103397312A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年11月20日
- 分類號(hào)C23C16/52(2006.01)I;
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