摘要：一種基于物料供應(yīng)系統(tǒng)模型的工藝環(huán)境壓力調(diào)節(jié)方法，其包括根據(jù)物料供應(yīng)系統(tǒng)特點(diǎn)建立傳遞函數(shù)反應(yīng)模型；將進(jìn)出舟階段的反應(yīng)腔室與微環(huán)境作為一個(gè)整體，形成組合腔室，引入?yún)⒖驾斎肫罘e分系統(tǒng)，建立增廣狀態(tài)狀態(tài)方程；獲取物料供應(yīng)系統(tǒng)系統(tǒng)狀態(tài)反饋控制律；通過物料供應(yīng)系統(tǒng)的閉環(huán)特征方程式求得反饋控制律參數(shù)；根據(jù)微環(huán)境和反應(yīng)腔室的壓差，以及所述反饋控制律參數(shù)，對(duì)反應(yīng)腔室與微環(huán)境作為一個(gè)整體進(jìn)行同步調(diào)節(jié)流量控制機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)物料在進(jìn)出舟階段的壓力穩(wěn)定。因此，本發(fā)明將微環(huán)境調(diào)節(jié)模塊接入真空泵環(huán)節(jié)，把進(jìn)出舟階段的反應(yīng)腔室與微環(huán)境作為一個(gè)整體進(jìn)行同步調(diào)節(jié)，進(jìn)而通過物料壓力環(huán)境的閉環(huán)狀態(tài)方程，實(shí)現(xiàn)物料在進(jìn)出舟階段的壓力穩(wěn)定。
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