摘要：本發(fā)明涉及一種高精度OLED器件的制備裝置及制備方法。包括蒸發(fā)源陣列、基板、傳動裝置以及配合蒸發(fā)源陣列的掩膜板；所述蒸發(fā)源陣列由若干個(gè)蒸發(fā)源排列而成，蒸發(fā)源中的材料垂直向上蒸發(fā)至基板上，通過傳動裝置帶動基板或蒸發(fā)源陣列的移動，完成基板的蒸鍍，進(jìn)而形成OLED器件。本發(fā)明加大了基板與掩膜板的距離，減小掩膜板對蒸鍍的影響；減小蒸發(fā)源與基板的距離，使得蒸發(fā)材料更少地?cái)U(kuò)散在蒸發(fā)環(huán)境里，節(jié)約了蒸發(fā)材料；另外，還減小蒸發(fā)源間距，減小掩膜板孔隙間距，實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)的蒸發(fā)，增加單位面積內(nèi)子像素的個(gè)數(shù)，實(shí)現(xiàn)了高精度OLED器件的制備。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人福州大學(xué);
- 發(fā)明人葉蕓;郭太良;嚴(yán)群;張永愛;呂珊紅;徐中煒;
- 地址350002 福建省福州市鼓樓區(qū)工業(yè)路523號
- 申請?zhí)?/b>CN201611137869.6
- 申請時(shí)間2016年12月12日
- 申請公布號CN106435483A
- 申請公布時(shí)間2017年02月22日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;
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