摘要：一種氣相沉積源、系統(tǒng)及相關(guān)的沉積方法。提供與以難于控制的或者不穩(wěn)定的方式蒸發(fā)或升華的材料一起使用的氣相沉積源。本發(fā)明特別適用于沉積有機(jī)材料，例如用于在有機(jī)發(fā)光設(shè)備中形成一層或多層的那些有機(jī)材料。
- 專利類型PCT發(fā)明
- 申請(qǐng)人維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人S·W·普里迪;C·M·康倫;
- 地址美國(guó)紐約
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200980155439.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年12月16日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102301032A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年12月28日
- 分類號(hào)C23C14/24(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
