摘要：一種線沉積源，包括多個(gè)坩鍋，每個(gè)坩鍋容納沉積材料。熱屏蔽件提供用于所述多個(gè)坩鍋中的至少一個(gè)的至少局部熱隔離。本體包括多個(gè)傳導(dǎo)槽道。所述多個(gè)傳導(dǎo)槽道中的每一個(gè)的輸入與所述多個(gè)坩鍋中的相應(yīng)一個(gè)的輸出連接。加熱器升高該多個(gè)坩鍋的溫度，這樣，每個(gè)坩鍋將沉積材料蒸發(fā)至該多個(gè)傳導(dǎo)槽道中。多個(gè)噴嘴中的每一個(gè)的輸入與所述多個(gè)傳導(dǎo)槽道中的一個(gè)的輸出連接。蒸發(fā)的沉積材料從坩鍋通過(guò)傳導(dǎo)槽道被輸送給噴嘴，在噴嘴處，蒸發(fā)的沉積材料從該多個(gè)噴嘴排出，以形成沉積流。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人C·康羅伊;S·W·普里迪;J·A·達(dá)爾斯特倫;R·布雷斯納漢;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美國(guó)紐約
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910262492.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年12月18日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101845612A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年09月29日
- 分類(lèi)號(hào)C23C14/26(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
