摘要：本實(shí)用新型公開了一種蒸發(fā)鍍膜儀，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有真空室，真空室內(nèi)設(shè)有載物臺；載物臺設(shè)置在真空室的上腔體中，真空室的下腔體中設(shè)有電蒸發(fā)系統(tǒng)，電蒸發(fā)系統(tǒng)包括陶封電極，陶封電極包括公共電極及一個(gè)以上的負(fù)極，公共電極與負(fù)極之間連接有鎢體。本實(shí)用新型通過鎢體，依靠電蒸發(fā)系統(tǒng)和真空腔室，采用從下往上的蒸發(fā)方式，大大的提高了蒸發(fā)的效率，可簡單并有效的滿足蒸鍍要求。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人合肥科晶材料技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人邾根祥;朱沫浥;汪震;江曉平;
- 地址230031 安徽省合肥市長江西路669號華源實(shí)業(yè)園
- 申請?zhí)?/b>CN201420843031.9
- 申請時(shí)間2014年12月25日
- 申請公布號CN204369974U
- 申請公布時(shí)間2015年06月03日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;
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