摘要：一種用于提高襯底載體的性能的方法，包括在由襯底載體支撐的襯底上沉積材料或制造器件。然后根據(jù)它們在襯底載體上的對應(yīng)位置測量在襯底上沉積的層的參數(shù)。使在襯底上制造的至少一些器件的測量的參數(shù)或沉積的層的特性與襯底載體的物理性質(zhì)關(guān)聯(lián)，以獲得與襯底載體上的多個位置對應(yīng)的襯底載體的多個物理性質(zhì)。然后在襯底載體上的多個對應(yīng)位置中的一個或更多個處修改襯底載體的物理性質(zhì)，以根據(jù)襯底載體上的位置獲得沉積的層或制造的器件的期望的參數(shù)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人J·曼古姆;W·E·奎因;
- 地址美國紐約
- 申請?zhí)?/b>CN201410546852.0
- 申請時間2010年11月12日
- 申請公布號CN104377140A
- 申請公布時間2015年02月25日
- 分類號H01L21/60(2006.01)I;
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