摘要：本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，提供一種高頻轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，包括夾具體及設(shè)于夾具體上且共軸線的兩旋轉(zhuǎn)部；夾具體包括相對設(shè)置的第一、第二夾具，各旋轉(zhuǎn)部均包括固定于第一夾具上的第一陶瓷支撐杯、設(shè)于第二夾具上且在一動力元件帶動下可轉(zhuǎn)動的第二陶瓷支撐杯以及夾設(shè)于第一、第二陶瓷支撐杯之間且可隨第二陶瓷支撐杯轉(zhuǎn)動的陶瓷珠。本發(fā)明中，利用共軸線的兩旋轉(zhuǎn)部形成轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單；采用陶瓷材料，一方面借助陶瓷材料表面的光滑度，減少轉(zhuǎn)動阻力，實(shí)現(xiàn)高速轉(zhuǎn)動；另一方面，陶瓷材料具有優(yōu)異的表面硬度，具有很高的重復(fù)運(yùn)動精度；同時(shí)，陶瓷材料具有絕緣性及較高的熱穩(wěn)定性，能夠保證在較寬的溫度區(qū)間內(nèi)，該轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)仍然具有高可靠性和運(yùn)動一致性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司;深圳市大族數(shù)控科技有限公司;深圳市大族光電設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人胡晶;高云峰;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)園北區(qū)新西路9號
- 申請?zhí)?/b>CN201110437652.8
- 申請時(shí)間2011年12月23日
- 申請公布號CN103177978B
- 申請公布時(shí)間2015年11月18日
- 分類號H01L21/60(2006.01)I;
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