摘要：本發(fā)明的一種實施方式是為高產(chǎn)量而對部件傳送進行自動化的技術。攜帶包含多個部件的舟的舟傳送單元(BTU)臂從初始位置旋轉到位于處理室下方的第一位置。BTU臂與用于支撐舟的舟支座相接合。BTU臂向上移動到第二位置，從而舟部分地進入到處理室中，離處理室的入口的距離為D。攜帶基座的升降機臂接合到舟支座的下側。BTU臂從所述第二位置移開。升降機臂向上移動，將舟完全插入到處理室內。
- 專利類型PCT發(fā)明
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人A·A·埃瑪尼;M·阿加莫哈馬迪;S·賽德伊;
- 地址中國北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號741信箱1分箱
- 申請?zhí)?/b>CN200780043452.6
- 申請時間2007年11月08日
- 申請公布號CN101553913B
- 申請公布時間2011年05月18日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;
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