高產(chǎn)量半導(dǎo)體成批晶片處理設(shè)備的自動(dòng)操作

　　摘要：本發(fā)明的一種實(shí)施方式是為高產(chǎn)量而對部件傳送進(jìn)行自動(dòng)化的技術(shù)。攜帶包含多個(gè)部件的舟的舟傳送單元(BTU)臂從初始位置旋轉(zhuǎn)到位于處理室下方的第一位置。BTU臂與用于支撐舟的舟支座相接合。BTU臂向上移動(dòng)到第二位置，從而舟部分地進(jìn)入到處理室中，離處理室的入口的距離為D。攜帶基座的升降機(jī)臂接合到舟支座的下側(cè)。BTU臂從所述第二位置移開。升降機(jī)臂向上移動(dòng)，將舟完全插入到處理室內(nèi)。

專利類型PCT發(fā)明
申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
發(fā)明人A·A·埃瑪尼;M·阿加莫哈馬迪;S·賽德伊;
地址中國北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)741信箱1分箱
申請?zhí)?/b>CN200780043452.6

申請時(shí)間2007年11月08日

申請公布號(hào)CN101553913B

申請公布時(shí)間2011年05月18日

分類號(hào)H01L21/68(2006.01)I;

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