摘要：一種晶圓中心預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，包括以下步驟：提供一旋轉(zhuǎn)臺(tái)電機(jī)，用以支撐旋轉(zhuǎn)一晶圓；光學(xué)探測(cè)器，用以采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)和獲取相對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)電機(jī)的碼盤值；數(shù)據(jù)采樣、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換、獲取當(dāng)前電機(jī)碼盤值、直角坐標(biāo)擬合、三點(diǎn)確定一個(gè)圓；通過(guò)多次進(jìn)行三點(diǎn)擬合圓求均值而得到當(dāng)前晶圓圓心位置。本發(fā)明晶圓中心預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法中，通過(guò)三點(diǎn)擬合方法求晶圓的中心的位置，該方法不受單個(gè)采樣數(shù)據(jù)誤差的影響，且數(shù)據(jù)的采樣很方便，并能充分的利用采樣數(shù)據(jù)，簡(jiǎn)單而高效的計(jì)算出晶圓的中心。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司;
- 發(fā)明人陳守良;郭海冰;鄒風(fēng)山;李崇;劉曉帆;董狀;宋吉來(lái);甘戈;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210002309.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年01月05日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103199047A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年07月10日
- 分類號(hào)H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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