摘要：本實(shí)用新型涉及一種硅片預(yù)對(duì)準(zhǔn)裝置，包括水平頂板，垂直設(shè)置在頂板一端的轉(zhuǎn)軸，卡裝在轉(zhuǎn)軸頂端的吸盤(pán)，轉(zhuǎn)動(dòng)連接于轉(zhuǎn)軸另一端的轉(zhuǎn)軸電機(jī)，卡裝在轉(zhuǎn)軸上且位于吸盤(pán)下方的下托架，設(shè)置在下托架邊緣的伸出爪，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在伸出爪末端的定位輪以及通過(guò)連接件固定在頂板一端的一對(duì)射式傳感器。轉(zhuǎn)軸電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接轉(zhuǎn)軸，定位輪是由位于定位輪頂部的圓錐體、位于圓錐體下表面的倒圓錐體、位于倒圓錐體下表面的圓柱體以及位于圓柱體下表面的凸臺(tái)組成，倒圓錐體、圓柱體和凸臺(tái)形成一環(huán)形凹槽，圓錐體下表面與倒圓錐體上表面的直徑相等，倒圓錐體下表面直徑等于圓柱體的直徑，凸臺(tái)直徑大于圓柱體直徑。本實(shí)用新型具有對(duì)硅片損害、污染小，預(yù)對(duì)準(zhǔn)精度高等優(yōu)點(diǎn)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京自動(dòng)化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;姚廣軍;馬麗梅;劉學(xué)輝;
- 地址100009 北京市西城區(qū)鼓樓西大街41號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320633269.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年10月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203644747U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月11日
- 分類(lèi)號(hào)H01L21/68(2006.01)I;
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