摘要：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體公開一種定位校準裝置。本發(fā)明包括：旋轉(zhuǎn)軸、四個卡爪，所述卡爪設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)軸上，所述卡爪環(huán)繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)中心依次布置，所述卡爪兩兩之間夾角為45度、135度、45度、135度；所述135度夾角方向形成一貫通空間，用于機械手傳遞晶圓；所述卡爪外邊緣環(huán)繞形成圓半徑小于晶圓半徑。本發(fā)明利用卡爪結(jié)構(gòu)用于檢測鍵合片偏心的Aligner，相對原有卡爪式Aligner，取消托架結(jié)構(gòu)，而且旋轉(zhuǎn)軸不再需要上升下降，即可完成對鍵合片的偏心檢測功能；同時由于取消了上升下降過程，大大的提高檢測速度，且通過適當?shù)慕档托D(zhuǎn)速度，防止滑片的發(fā)生。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人鄒風(fēng)山;姜鐵程;劉曉帆;李學(xué)威;韓志平;董狀;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201410634831.4
- 申請時間2014年11月12日
- 申請公布號CN105655277A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
