摘要：本發(fā)明涉及一種晶圓位置調(diào)節(jié)裝置，包括：一電動機，用于提供動能；一電機驅動器，用于驅動電動機；一控制單元，用于控制電機驅動器的工作狀態(tài)，工作狀態(tài)至少包括電動機開啟與電動機關閉；傳動機構，用于傳動電動機提供的動能至第一運動單元和第二運動單元，第一運動單元調(diào)節(jié)經(jīng)過第一流水線的晶圓的位置，第二運動單元調(diào)節(jié)經(jīng)過第二流水線的晶圓的位置。其結構簡單、實施技術成熟；在調(diào)試中，僅調(diào)試單個控制單元、單個電機驅動器和單臺電機即可，調(diào)試方便、高效。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張航;王凱;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410076562.4
- 申請時間2014年03月04日
- 申請公布號CN103811391B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;
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