晶圓位置調(diào)節(jié)裝置

　　摘要：本發(fā)明涉及一種晶圓位置調(diào)節(jié)裝置，包括：一電動(dòng)機(jī)，用于提供動(dòng)能；一電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)；一控制單元，用于控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的工作狀態(tài)，工作狀態(tài)至少包括電動(dòng)機(jī)開啟與電動(dòng)機(jī)關(guān)閉；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于傳動(dòng)電動(dòng)機(jī)提供的動(dòng)能至第一運(yùn)動(dòng)單元和第二運(yùn)動(dòng)單元，第一運(yùn)動(dòng)單元調(diào)節(jié)經(jīng)過第一流水線的晶圓的位置，第二運(yùn)動(dòng)單元調(diào)節(jié)經(jīng)過第二流水線的晶圓的位置。其結(jié)構(gòu)簡單、實(shí)施技術(shù)成熟；在調(diào)試中，僅調(diào)試單個(gè)控制單元、單個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和單臺(tái)電機(jī)即可，調(diào)試方便、高效。

專利類型發(fā)明專利
申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
發(fā)明人張航;王凱;慕曉航;
地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410076562.4

申請(qǐng)時(shí)間2014年03月04日

申請(qǐng)公布號(hào)CN103811391B

申請(qǐng)公布時(shí)間2016年08月17日

分類號(hào)H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;

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