摘要：一種晶圓缺口邊緣中心預(yù)對準(zhǔn)方法，包括以下步驟：提供一旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)，用以支撐旋轉(zhuǎn)一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數(shù)據(jù)和獲取相對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)臺電機(jī)的碼盤值；該方法還包括：數(shù)據(jù)采樣、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)初處理、初處理數(shù)據(jù)歸一化、歸一化數(shù)據(jù)處理、缺口范圍確定，根據(jù)范圍內(nèi)數(shù)據(jù)找出最低點，便為晶圓缺口邊緣中心位置。本發(fā)明提供的方法簡便高效。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人徐方;曲道奎;鄒風(fēng)山;賈凱;陳守良;李學(xué)威;宋吉來;褚明杰;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201210002247.8
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199046B
- 申請公布時間2015年09月09日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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