摘要：一種XY兩坐標氣浮定位平臺，其特征是包括底座、X軸基座（2）、X軸導向?qū)к墸?）、X軸直線電機定子（4）、Y軸基座（6）、Y軸直線電機定子（7）、Y軸導向?qū)к墸?）、X軸滑臺（5）、Y軸滑臺（9）和工作平臺（10），底座上采用螺栓固定連接的方式安裝了X軸基座（2）和Y軸基座（6），X軸基座（2）上通過螺栓固定連接的方式安裝X軸導向?qū)к墸?）和X軸直線電機定子（4）。本發(fā)明特點是啟用氣浮支撐形式，平臺相對運動部分用一定剛度的氣膜隔開，系統(tǒng)無摩擦，采用直線電機驅(qū)動的方式，避免高速運動下，質(zhì)心偏轉(zhuǎn)導致傳動副精度降低的問題，提高平臺定位精度、速度和加速度，滿足工業(yè)要求。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人南京工業(yè)大學;南京工大數(shù)控科技有限公司;
- 發(fā)明人洪榮晶;鐘黔;方成剛;
- 地址210009 江蘇省南京市新模范馬路5號
- 申請?zhí)?/b>CN201210194434.0
- 申請時間2012年06月13日
- 申請公布號CN102723303B
- 申請公布時間2015年05月20日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
