XY兩坐標(biāo)氣浮定位平臺(tái)

　　摘要：一種XY兩坐標(biāo)氣浮定位平臺(tái)，其特征是包括底座、X軸基座（2）、X軸導(dǎo)向?qū)к墸?）、X軸直線電機(jī)定子（4）、Y軸基座（6）、Y軸直線電機(jī)定子（7）、Y軸導(dǎo)向?qū)к墸?）、X軸滑臺(tái)（5）、Y軸滑臺(tái)（9）和工作平臺(tái)（10），底座上采用螺栓固定連接的方式安裝了X軸基座（2）和Y軸基座（6），X軸基座（2）上通過螺栓固定連接的方式安裝X軸導(dǎo)向?qū)к墸?）和X軸直線電機(jī)定子（4）。本實(shí)用新型特點(diǎn)是啟用氣浮支撐形式，平臺(tái)相對(duì)運(yùn)動(dòng)部分用一定剛度的氣膜隔開，系統(tǒng)無摩擦，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的方式，避免高速運(yùn)動(dòng)下，質(zhì)心偏轉(zhuǎn)導(dǎo)致傳動(dòng)副精度降低的問題，提高平臺(tái)定位精度、速度和加速度，滿足工業(yè)要求。

專利類型實(shí)用新型
申請(qǐng)人南京工業(yè)大學(xué);南京工大數(shù)控科技有限公司;
發(fā)明人洪榮晶;鐘黔;方成剛;
地址210009 江蘇省南京市鼓樓區(qū)新模范馬路5號(hào)
申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220278159.6

申請(qǐng)時(shí)間2012年06月13日

申請(qǐng)公布號(hào)CN202712146U

申請(qǐng)公布時(shí)間2013年01月30日

分類號(hào)H01L21/68(2006.01)I;

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