摘要：本實(shí)用新型涉及一種硅片傳送裝置，其特征在于：它包括水平驅(qū)動機(jī)構(gòu)，垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)、機(jī)械手叉、預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和控制系統(tǒng)；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)和機(jī)械手叉在垂直驅(qū)動機(jī)構(gòu)的帶動下沿豎直方向移動；機(jī)械手叉在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)的帶動下旋轉(zhuǎn)取片；預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)前部設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸電機(jī)帶動的轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上端連接一吸盤，轉(zhuǎn)軸下端與真空泵連通；預(yù)對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)的前端設(shè)置有電連接控制系統(tǒng)的一對水平光電傳感器、一對豎直光電傳感器和一智能相機(jī)。本實(shí)用新型能夠在搬運(yùn)過程中對硅片上的定位槽進(jìn)行對準(zhǔn)并且讀取硅片信息，它可以廣泛應(yīng)用于各類薄型基片的搬運(yùn)過程中。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京自動化技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人陳百捷;姚廣軍;劉影;蔣俊海;劉學(xué)輝;趙力行;
- 地址100009 北京市西城區(qū)鼓樓西大街41號
- 申請?zhí)?/b>CN201320101298.6
- 申請時間2013年03月06日
- 申請公布號CN203103273U
- 申請公布時間2013年07月31日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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