摘要：本實用新型涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，公開了一種傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，由旋轉(zhuǎn)單元和由旋轉(zhuǎn)單元支撐的傳輸單元組成。傳輸單元包括傳輸驅(qū)動組件、主動輪、從動輪、傳送帶以及頂面圓盤，硅片花籃放置在頂面圓盤上，由傳輸驅(qū)動組件驅(qū)動主動輪和從動輪和傳送帶移動硅片花籃，使硅片花籃進(jìn)入和離開旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。旋轉(zhuǎn)單元由旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置組成，旋轉(zhuǎn)圓盤在旋轉(zhuǎn)單元支撐板的圓孔中平穩(wěn)的轉(zhuǎn)動帶動傳輸單元及放置在傳輸單元上的硅片花籃轉(zhuǎn)動，通過傳輸單元和旋轉(zhuǎn)單元的配合實現(xiàn)傳輸線上的硅片花籃90°轉(zhuǎn)向。由于旋轉(zhuǎn)圓盤放置在偏心凸輪導(dǎo)向器上旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)性好，克服現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)時平衡性差的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人李廣旭;張恒峰;王守琛;徐現(xiàn)飛;李補忠;王廣明;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201320788382.X
- 申請時間2013年12月03日
- 申請公布號CN203659826U
- 申請公布時間2014年06月18日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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