摘要：本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，公開了一種傳輸硅片花籃的90°旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，由旋轉(zhuǎn)單元和由旋轉(zhuǎn)單元支撐的傳輸單元組成。傳輸單元包括傳輸驅(qū)動(dòng)組件、主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、傳送帶以及頂面圓盤，硅片花籃放置在頂面圓盤上，由傳輸驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪和從動(dòng)輪和傳送帶移動(dòng)硅片花籃，使硅片花籃進(jìn)入和離開旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)單元由旋轉(zhuǎn)單元支撐板、旋轉(zhuǎn)圓盤和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置組成，旋轉(zhuǎn)圓盤在旋轉(zhuǎn)單元支撐板的圓孔中平穩(wěn)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳輸單元及放置在傳輸單元上的硅片花籃轉(zhuǎn)動(dòng)，通過傳輸單元和旋轉(zhuǎn)單元的配合實(shí)現(xiàn)傳輸線上的硅片花籃90°轉(zhuǎn)向。由于旋轉(zhuǎn)圓盤放置在偏心凸輪導(dǎo)向器上旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)過程平穩(wěn)性好，克服現(xiàn)有技術(shù)旋轉(zhuǎn)時(shí)平衡性差的問題。
- 專利類型實(shí)用新型
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