摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體擴(kuò)散設(shè)備的石英舟升降裝置，包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、支撐件、雙直線導(dǎo)軌、滾珠絲杠、連接板和承載石英舟的升降臂。支撐件橫截面為U形，雙直線導(dǎo)軌直立地對(duì)稱設(shè)置在支撐件兩側(cè)，滾珠絲杠設(shè)置在支撐件中部，其由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)；連接板安裝于滾珠絲杠且與雙直線導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，隨著滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)沿雙直線軌道的方向上升或下降；升降臂與連接板固定連接，由連接板的運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)上升或下降。本實(shí)用新型的石英舟升降裝置結(jié)構(gòu)緊湊，受力合理且維護(hù)方便。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人林欣家;郝琪;董金衛(wèi);
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320778607.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年11月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203596342U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年05月14日
- 分類號(hào)H01L21/677(2006.01)I;
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