摘要：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體擴散設(shè)備的石英舟升降裝置，包括驅(qū)動機構(gòu)、支撐件、雙直線導(dǎo)軌、滾珠絲杠、連接板和承載石英舟的升降臂。支撐件橫截面為U形，雙直線導(dǎo)軌直立地對稱設(shè)置在支撐件兩側(cè)，滾珠絲杠設(shè)置在支撐件中部，其由驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)動；連接板安裝于滾珠絲杠且與雙直線導(dǎo)軌滑動連接，隨著滾珠絲杠的轉(zhuǎn)動沿雙直線軌道的方向上升或下降；升降臂與連接板固定連接，由連接板的運動帶動上升或下降。本發(fā)明的石英舟升降裝置結(jié)構(gòu)緊湊，受力合理且維護方便。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人林欣家;郝琪;董金衛(wèi);
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201310628402.1
- 申請時間2013年11月29日
- 申請公布號CN103681421B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號H01L21/677(2006.01)I;
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