摘要：本發(fā)明涉及機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種手指間距可調(diào)的搬運(yùn)機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。其中機(jī)械手包括：設(shè)有機(jī)械手指（11）的手指單元（10）；固定設(shè)置有軸承的連桿（20）；其中一個(gè)軸承與一個(gè)手指單元（10）固定連接，其余的手指單元（10）的后端一側(cè)開(kāi)設(shè)有沿機(jī)械手指方向的槽（40），軸承嵌入槽（40）內(nèi)并可移動(dòng)組成曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；手指單元（10）的后端另一側(cè)設(shè)有導(dǎo)軌（60），導(dǎo)軌（60）沿豎直方向設(shè)置，手指單元（10）通過(guò)滑塊（50）沿導(dǎo)軌（60）運(yùn)動(dòng)；其中一個(gè)手指單元（10）沿豎直方向運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)連桿（20）繞與一個(gè)手指單元（10）固定連接的軸承轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)其他手指單元（10）沿導(dǎo)軌（60）做上下運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司;
- 發(fā)明人曲道奎;李學(xué)威;趙嘉博;陳雷;何元一;柴源;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310451911.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104517879A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年04月15日
- 分類號(hào)H01L21/677(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;
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