摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于實(shí)現(xiàn)原子層沉積工藝的設(shè)備，涉及原子層沉積技術(shù)領(lǐng)域，包括：反應(yīng)模塊，所述反應(yīng)模塊進(jìn)一步包括：反應(yīng)腔室、加熱單元、預(yù)熱腔室、預(yù)熱單元、前驅(qū)物進(jìn)料單元、抽氣單元及控制單元；預(yù)熱單元，用于對(duì)預(yù)熱腔室中的基板進(jìn)行預(yù)熱；加熱單元，用于對(duì)反應(yīng)腔室及反應(yīng)腔室中的基板進(jìn)行加熱；前驅(qū)物進(jìn)料單元，用于為反應(yīng)腔室內(nèi)的基板提供氣態(tài)的前驅(qū)物；抽氣單元，用于對(duì)反應(yīng)腔室進(jìn)行抽氣，以保證反應(yīng)腔室內(nèi)的基板進(jìn)行反應(yīng)之前，反應(yīng)腔室處于真空狀態(tài)。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置預(yù)熱單元來(lái)縮短反應(yīng)時(shí)間，提高了反應(yīng)效率，提高了原子層沉積設(shè)備的生產(chǎn)效率，并進(jìn)一步通過(guò)多個(gè)反應(yīng)腔室共同使用部分部件，使得設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、占地面積較小。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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