摘要：本實用新型涉及一種帶滑軌的用于制備石墨烯的化學氣相沉積裝置，包括一石英管，石英管輸入端通過第一法蘭連接有充氣系統(tǒng)，石英管輸出端通過法蘭分別連接有氣壓調節(jié)器和真空系統(tǒng)，石英管外包圍有分段加熱裝置，分段加熱裝置包括第一加熱裝置和第二加熱裝置，第一加熱裝置和第二加熱裝置下方設有滑軌，滑軌上設有可以在該滑軌上滑動的滑塊，滑軌一側設有伸縮氣缸，伸縮氣缸推動滑塊在滑軌上滑動，滑塊上固定連接有電機，電機輸出轉軸固定有錐齒輪，第一加熱裝置和第二加熱裝置上設有與該錐齒輪的齒紋嚙合的斜齒圈，該錐齒輪轉動時通過齒紋與斜齒圈嚙合帶動第一加熱裝置和第二加熱裝置繞石英管軸向旋轉，本實用新型能夠使得氣體均勻分配進而使得石墨烯均勻沉積。
- 專利類型實用新型
- 申請人廈門烯成新材料科技有限公司;
- 發(fā)明人劉長江;連榕;
- 地址361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S301C室
- 申請?zhí)?/b>CN201420056530.3
- 申請時間2014年01月29日
- 申請公布號CN203794983U
- 申請公布時間2014年08月27日
- 分類號C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;
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