摘要：本發(fā)明公開了一種基于流化床的納米顆?？臻g隔離原子層沉積設(shè)備及方法，其將待包覆的納米顆粒放入粉體反應(yīng)腔的中間部分中，粉體反應(yīng)腔的中間部分在動(dòng)力源的帶動(dòng)下作間歇性圓周運(yùn)動(dòng)，依次經(jīng)過(guò)第一清洗區(qū)、吸附區(qū)、第二清洗區(qū)、反應(yīng)區(qū)，在納米顆粒表面形成一層包覆薄膜，循環(huán)運(yùn)動(dòng)以得到理想的膜厚。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在常壓下納米顆粒的快速包覆，具有包覆率高、包覆均勻性好、包覆效率高等優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人陳蓉;巴偉明;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610361332.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年05月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105951058A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年09月21日
- 分類號(hào)C23C16/44(2006.01)I;C23C16/442(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;
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