摘要：本實用新型公開了一種可擴展的反應(yīng)腔室，涉及機械設(shè)計技術(shù)領(lǐng)域，所述反應(yīng)腔室包括：前門板和后門板，所述前門板和后門板之間設(shè)有至少一個模塊化腔室。本實用新型通過在前門板、后門板和所述前門板和后門板之間設(shè)有的至少一個模塊化腔室上設(shè)置法蘭結(jié)構(gòu)，使反應(yīng)腔室能夠擴展，實現(xiàn)了在不需重新設(shè)計反應(yīng)腔室的情況下，提高設(shè)備生產(chǎn)率。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人彭文芳;李春雷;常青;克雷格·伯考;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201220172713.2
- 申請時間2012年04月20日
- 申請公布號CN202610318U
- 申請公布時間2012年12月19日
- 分類號C23C16/44(2006.01)I;
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