摘要：本實用新型公開了一種可擴展的反應腔室，涉及機械設計技術領域，所述反應腔室包括：前門板和后門板，所述前門板和后門板之間設有至少一個模塊化腔室。本實用新型通過在前門板、后門板和所述前門板和后門板之間設有的至少一個模塊化腔室上設置法蘭結構，使反應腔室能夠擴展，實現(xiàn)了在不需重新設計反應腔室的情況下，提高設備生產(chǎn)率。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人彭文芳;李春雷;常青;克雷格·伯考;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201220172713.2
- 申請時間2012年04月20日
- 申請公布號CN202610318U
- 申請公布時間2012年12月19日
- 分類號C23C16/44(2006.01)I;
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