摘要：本實(shí)用新型涉及一種氣相沉積設(shè)備。本實(shí)用新型的一種用于制備石墨烯薄膜的化學(xué)氣相沉積裝置，所述裝置包括一石英管，所述石英管輸入端通過法蘭連接有充氣系統(tǒng)，所述石英管輸出端通過法蘭分別連接有氣壓調(diào)節(jié)器和真空系統(tǒng)，所述石英管外包圍有加熱爐膛。本實(shí)用新型的化學(xué)氣相沉積裝置可兼容常壓與真空兩種制備石墨烯薄膜的工藝，可實(shí)現(xiàn)自限制與滲析兩種不同機(jī)理的石墨烯薄膜生長方式，實(shí)現(xiàn)整個(gè)石墨烯薄膜生長過程的實(shí)時(shí)監(jiān)控和全自動(dòng)化。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人廈門烯成新材料科技有限公司;
- 發(fā)明人劉長江;連榕;
- 地址361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S301C室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220500089.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年09月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN202913056U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年05月01日
- 分類號(hào)C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
