摘要：本發(fā)明公開了一種自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜的制備方法，包括下述步驟：S1：對(duì)金屬鎳片襯底進(jìn)行超聲清洗，并烘干后放置于管式爐中；S2：向所述管式爐中通入惰性氣體；S3：對(duì)所述管式爐進(jìn)行升溫處理使其達(dá)到600℃?720℃，向所述管式爐中通入氫氣，并對(duì)所述金屬鎳片襯底進(jìn)行熱處理；S4：向所述管式爐中通入碳?xì)浠衔铮沟媒?jīng)過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳?xì)浠衔锪呀夂笊L(zhǎng)非晶碳薄膜；S5：對(duì)所述管式爐進(jìn)行降溫處理，并將生長(zhǎng)有非晶碳薄膜的鎳片浸泡在腐蝕液中腐蝕掉襯底鎳片后獲得自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜。采用本發(fā)明制備方法對(duì)環(huán)境溫度要求不高，制備得到的非晶碳薄膜具有多孔結(jié)構(gòu)和自支撐結(jié)構(gòu)，可以很方便轉(zhuǎn)移至任何襯底。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人魏合林;朱大明;劉宇昊;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310624301.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年11月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103643217B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年08月17日
- 分類號(hào)C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;
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