摘要：本發(fā)明公開了一種常壓化學(xué)氣相沉積雙層石墨烯膜的方法，其包括銅箔預(yù)處理、銅箔退火、雙層石墨烯膜的生長(zhǎng)和冷卻過(guò)程，銅箔在H2和Ar混合氣中于850～1050oC下退火，在不改變H2和Ar流速和反應(yīng)溫度的情況下，繼續(xù)通入乙炔氣生長(zhǎng)獲得雙層石墨烯膜。本發(fā)明制備的雙層石墨烯質(zhì)量高，克服了常壓制備石墨烯方法的缺陷。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人西北大學(xué);
- 發(fā)明人任兆玉;王惠;祁媚;李渭龍;
- 地址710069 陜西省西安市太白北路229號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210585747.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月29日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103352202B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年04月13日
- 分類號(hào)C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;
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