摘要：本發(fā)明包括一種在襯底上制造有機(jī)/無(wú)機(jī)復(fù)合納米結(jié)構(gòu)的方法，包括：使用浸沾筆納米刻蝕，在襯底上沉積具有嵌段共聚物和無(wú)機(jī)前驅(qū)體的溶液。該納米結(jié)構(gòu)包括具有寬度/直徑小于1微米的點(diǎn)和/或線的陣列。本發(fā)明還包括一種器件，該器件包括有機(jī)/無(wú)機(jī)復(fù)合納米級(jí)區(qū)域，其中該納米級(jí)區(qū)域除了高度之外具有納米級(jí)尺寸。
- 專利類型PCT發(fā)明
- 申請(qǐng)人西北大學(xué);
- 發(fā)明人查德·A·米爾金;維納亞克·P·德拉維德;蘇明;劉曉剛;
- 地址美國(guó)伊利諾伊州
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN02827280.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2002年12月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN100345059C
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2007年10月24日
- 分類號(hào)G03F7/00(2006.01);B82B3/00(2006.01);
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