摘要：本發(fā)明提供一種機(jī)械手晶圓定心裝置及方法，該裝置包括：高速IO采集電路，用于采集AWC傳感器信號，生成高速IO信號；FPGA模塊，用于將高速IO信號線與成串行中斷信號，輸出給嵌入式CPU模塊；該FPGA模塊還用于將嵌入式CPU模塊的地址數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成對驅(qū)動器的控制信號輸出，以糾正機(jī)械手的位置；嵌入式CPU模塊，用于接收高速IO信號并鎖存伺服軸位置值，并根據(jù)伺服軸位置值計算出機(jī)械手傳輸晶圓過程中實際中心與示教中心的偏位，通過地址數(shù)據(jù)輸出控制指令。本發(fā)明提供的機(jī)械手晶圓定心裝置及方法集成多組高速IO信號采集電路，結(jié)構(gòu)緊湊、故障點少、采集電路可靈活配置。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人褚明杰;曲道奎;徐方;劉世昌;鄒風(fēng)山;楊奇峰;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201310566847.1
- 申請時間2013年11月13日
- 申請公布號CN104626151B
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號B25J9/18(2006.01)I;
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