摘要：本實(shí)用新型公開了一種具有超聲或兆聲振蕩的二相流霧化清洗裝置，在噴嘴主體內(nèi)沿液體管路內(nèi)壁表面設(shè)置超聲波或兆聲波發(fā)生單元，通過產(chǎn)生超聲波或兆聲波振蕩，將超聲波或兆聲波能量傳導(dǎo)至流經(jīng)的清洗液體內(nèi)，使由液體導(dǎo)向出口噴出的清洗液體與由氣體導(dǎo)向出口噴出的氣體在氣液導(dǎo)向部件下方相交形成的霧化顆粒具有超聲波或兆聲波能量，并在霧化顆粒導(dǎo)向出口的加速或垂直導(dǎo)向作用下向下噴向晶圓表面進(jìn)行超聲波或兆聲波霧化清洗，可有效控制對晶圓表面的圖形結(jié)構(gòu)造成損傷，提高晶圓表面顆粒污染物的去除效率，縮短工藝時間，節(jié)約清洗藥液和高純氣體的使用量，節(jié)約生產(chǎn)成本，減少環(huán)境影響。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人滕宇;李偉;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201521028786.4
- 申請時間2015年12月10日
- 申請公布號CN205200030U
- 申請公布時間2016年05月04日
- 分類號B08B3/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B05B17/06(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;
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