摘要：本實(shí)用新型公開了一種晶圓片自動(dòng)中心定位儀，包括LED燈、圖像傳感器、圖像數(shù)據(jù)處理器、像素計(jì)數(shù)器和控制電路，所述LED燈的信號(hào)輸出端與所述圖像傳感器的信號(hào)輸入端連接，所述圖像傳感器的信號(hào)輸出端與所述圖像數(shù)據(jù)處理器的信號(hào)輸入端連接，所述圖像數(shù)據(jù)處理器的信號(hào)輸出端與所述像素計(jì)數(shù)器的信號(hào)輸入端連接，所述控制電路的信號(hào)輸出端分別與所述圖像傳感器的信號(hào)輸入端和所述像素計(jì)數(shù)器的信號(hào)輸入端連接。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種晶圓片自動(dòng)中心定位儀，可以用于機(jī)械手上，來完成對(duì)晶圓片的中心定位，使得具有定位精確、工作效率較高和材料報(bào)廢率較低的優(yōu)點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發(fā)明人雷楓;李少博;問孝明;
- 地址100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號(hào)8號(hào)樓415室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420114498.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年03月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203787407U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年08月20日
- 分類號(hào)H01L21/68(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
