摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光學(xué)定位測(cè)量系統(tǒng)，包括激光、顯微物鏡、準(zhǔn)直透鏡、反射片、載物臺(tái)、反射鏡、基準(zhǔn)反射鏡、會(huì)聚成像透鏡組、檢測(cè)器、數(shù)據(jù)處理器和計(jì)算機(jī)，所述激光的輸出端依次穿過(guò)所述顯微物鏡和所述準(zhǔn)直透鏡射向所述反射片，所述反射片的光源射向所述反射鏡，所述反射鏡安裝于所述載物臺(tái)上，位于所述反射片的一側(cè)，所述基準(zhǔn)反射鏡位于所述會(huì)聚成像透鏡組，所述檢測(cè)器安裝于所述會(huì)聚成像透鏡組的上方，所述檢測(cè)器的信號(hào)輸出端與所述數(shù)據(jù)處理器的信號(hào)輸入端連接，所述數(shù)據(jù)處理器的信號(hào)輸出端與所述計(jì)算機(jī)的信號(hào)輸入端連接。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的光學(xué)定位測(cè)量系統(tǒng)，可以通過(guò)測(cè)量將結(jié)果反饋到計(jì)算機(jī)上顯示，替換了原有的測(cè)量裝置，其性能較為穩(wěn)定，使用壽命較長(zhǎng)。
- 專利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發(fā)明人雷楓;李少博;問(wèn)孝明;
- 地址100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號(hào)8號(hào)樓415室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420114485.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年03月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204043683U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年12月24日
- 分類(lèi)號(hào)G01D5/26(2006.01)I;
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