摘要：本實(shí)用新型公開了一種分光干涉膜厚測量儀，包括樣品臺、連接臂、電動機(jī)、移動座、鏡頭、光源、分光模塊和計(jì)算機(jī)，所述連接臂的一端安裝于所述樣品臺的一側(cè)，所述連接臂的另一端與所述電動機(jī)連接，所述電動機(jī)的轉(zhuǎn)軸與所述移動座的一側(cè)連接，所述鏡頭安裝于所述移動座上，所述光源的信號輸出端和所述分光模塊的信號輸出端均與所述鏡頭連接，所述計(jì)算機(jī)的信號輸出端與所述分光模塊的信號輸入端連接。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)較為簡單的分光干涉膜厚測量儀，能夠精確的測量出分光噶社的膜厚，其性能較為穩(wěn)定。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發(fā)明人雷楓;李少博;問孝明;
- 地址100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路95號8號樓415室
- 申請?zhí)?/b>CN201420114500.3
- 申請時間2014年03月14日
- 申請公布號CN204043622U
- 申請公布時間2014年12月24日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;
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