摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量AR減反膜厚度和折射率的方法，本發(fā)明的AR減反膜測(cè)量方法涉及的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量速度快，測(cè)量準(zhǔn)確的特點(diǎn)，與橢偏儀相比，本測(cè)量方法無(wú)活動(dòng)部件，所以運(yùn)行的可靠性很高，同時(shí)信號(hào)采集速度也很高，所以可以用于在線測(cè)量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人蘇州精創(chuàng)光學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人尚修鑫;
- 地址215300 江蘇省蘇州市昆山市開(kāi)發(fā)區(qū)章基路189號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410603824.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月03日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104296671A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年01月21日
- 分類號(hào)G01B11/06(2006.01)I;G01N21/55(2014.01)I;
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