摘要：本發(fā)明屬于白光干涉測厚領(lǐng)域，并公開了共焦白光偏振干涉的多層透明介質(zhì)厚度測量裝置和方法。包括被測物、第三透鏡、第二透鏡、第二小孔構(gòu)成共焦結(jié)構(gòu)，平行白光經(jīng)第二棱鏡后，一束作為測量光束經(jīng)第三透鏡匯聚到被測表面，另一束作為參考光束經(jīng)過多次反射后與從被測表面反射回來的測量光束發(fā)生干涉，在第二棱鏡和第二透鏡之間設(shè)置提高干涉條紋的對比度的可旋轉(zhuǎn)偏振片，實現(xiàn)在第一圖像傳感器上形成高對比度干涉條紋。本發(fā)明還公開了利用上述裝置進行測量的方法。通過本發(fā)明，采用參考光束和測量光束在橫向微小的偏離量，同時利用共焦和白光干涉技術(shù)，簡單快速地形成了有限寬度的白光干涉條紋，從而實現(xiàn)了多層透明介質(zhì)厚度的測量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人趙斌;徐婭;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201610956898.9
- 申請時間2016年10月27日
- 申請公布號CN106546178A
- 申請公布時間2017年03月29日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;
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