摘要:本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化控制技術(shù),具體公開了一種化學(xué)藥液供給系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括主用儲(chǔ)液罐、備用儲(chǔ)液罐、供液裝置和控制器,其中:供液裝置分別與主用儲(chǔ)液罐、備用儲(chǔ)液罐以及控制器相連接;主用儲(chǔ)液罐及備用儲(chǔ)液罐用于儲(chǔ)存并提供化學(xué)藥液;供液裝置用于接收控制器的指令,并根據(jù)指令將主用儲(chǔ)液罐或備用儲(chǔ)液罐中的化學(xué)藥液輸送給外部設(shè)備;控制器用于控制供液裝置將化學(xué)藥液輸送給外部設(shè)備。本實(shí)用新型提出的化學(xué)藥液供給系統(tǒng)能夠在不間斷供給的情況下更換藥液儲(chǔ)液罐,液體流動(dòng)相對(duì)封閉,且能夠解決藥液流量變化較大時(shí)同一套供液系統(tǒng)不兼容的問題。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人初國(guó)超;何金群;裴立坤;王銳廷;王營(yíng)營(yíng);
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220717785.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月21日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203131429U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年08月14日
- 分類號(hào)F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;




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