摘要：本發(fā)明涉及自動化控制技術(shù)，具體公開了一種化學藥液供給系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括主用儲液罐、備用儲液罐、供液裝置和控制器，其中：供液裝置分別與主用儲液罐、備用儲液罐以及控制器相連接；主用儲液罐及備用儲液罐用于儲存并提供化學藥液；供液裝置用于接收控制器的指令，并根據(jù)指令將主用儲液罐或備用儲液罐中的化學藥液輸送給外部設(shè)備；控制器用于控制供液裝置將化學藥液輸送給外部設(shè)備。本發(fā)明提出的化學藥液供給系統(tǒng)能夠在不間斷供給的情況下更換藥液儲液罐，液體流動相對封閉，且能夠解決藥液流量變化較大時同一套供液系統(tǒng)不兼容的問題。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人初國超;何金群;裴立坤;王銳廷;王營營;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201210563808.1
- 申請時間2012年12月21日
- 申請公布號CN103047539A
- 申請公布時間2013年04月17日
- 分類號F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
