摘要：本發(fā)明公開了一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括分別與機臺相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路，其中第一化學(xué)液通路包括依次連接的第一氣動閥、第一緩沖罐、第二氣動閥和計量泵，其中第二化學(xué)液通路包括依次連接的第三氣動閥、第二緩沖罐、第四氣動閥、隔膜泵和脈沖消除裝置，其中在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進行混合后傳輸至機臺。本發(fā)明可以避免由于廠端供液時壓力波動對化學(xué)液流量的影響，同時雙系統(tǒng)設(shè)計提高了設(shè)備的穩(wěn)定性及配比比例精準度，易于實現(xiàn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人周傳霞;劉福生;何金群;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201310039423.X
- 申請時間2013年01月31日
- 申請公布號CN103090190A
- 申請公布時間2013年05月08日
- 分類號F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
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