摘要：本發(fā)明公開了一種化學(xué)液分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括分別與機(jī)臺(tái)相連的交替工作的兩套相同的子系統(tǒng)，所述子系統(tǒng)包括與在線混合單元相連的第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路，其中第一化學(xué)液通路包括依次連接的第一氣動(dòng)閥、第一緩沖罐、第二氣動(dòng)閥和計(jì)量泵，其中第二化學(xué)液通路包括依次連接的第三氣動(dòng)閥、第二緩沖罐、第四氣動(dòng)閥、隔膜泵和脈沖消除裝置，其中在線混合單元用于將所述第一化學(xué)液通路和第二化學(xué)液通路流出的化學(xué)液進(jìn)行混合后傳輸至機(jī)臺(tái)。本發(fā)明可以避免由于廠端供液時(shí)壓力波動(dòng)對(duì)化學(xué)液流量的影響，同時(shí)雙系統(tǒng)設(shè)計(jì)提高了設(shè)備的穩(wěn)定性及配比比例精準(zhǔn)度，易于實(shí)現(xiàn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人周傳霞;劉福生;何金群;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310039423.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年01月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103090190B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月25日
- 分類號(hào)F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
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