摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種補(bǔ)液裝置，包括：儲(chǔ)液罐、為所述儲(chǔ)液罐提供化學(xué)藥液的化學(xué)藥液供給管路、為所述儲(chǔ)液罐提供超純水的超純水供給管路、為所述儲(chǔ)液罐定量補(bǔ)給超純水的超純水定量補(bǔ)給管路和循環(huán)管路，所述循環(huán)管路的一端與所述儲(chǔ)液罐出液口連接，另一端連接所述儲(chǔ)液罐進(jìn)口。本發(fā)明提供的補(bǔ)液裝置，可隨著化學(xué)藥液的反復(fù)使用，藥液的濃度變化，定時(shí)定量的補(bǔ)給，能夠維持一定的藥液濃度，從而保證工藝效果，操作簡(jiǎn)單。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人初國(guó)超;何金群;王營(yíng)營(yíng);裴立坤;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210387839.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年10月12日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102878429A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年01月16日
- 分類號(hào)F17D1/14(2006.01)I;
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