摘要：本發(fā)明涉及機械手技術(shù)領域，提供了一種手指間距可調(diào)的機械手及其晶圓搬運裝置。其中機械手包括：至少2個手指單元；至少2個調(diào)節(jié)桿，調(diào)節(jié)桿的一端與手指單元轉(zhuǎn)動連接，調(diào)節(jié)桿（的另一端與第一滑塊轉(zhuǎn)動連接；第一滑塊沿第一導軌運動，第一導軌沿手指單元的機械手指方向設置；手指單元的側(cè)邊設有第二導軌，第二導軌沿豎直方向設置，手指單元通過第二滑塊沿第二導軌運動；第一滑塊沿第一導軌運動，驅(qū)動調(diào)節(jié)桿轉(zhuǎn)動呈收縮或放開狀態(tài)，帶動手指單元沿第二導軌做上下運動。本發(fā)明實現(xiàn)了對機械手指間距的有效調(diào)節(jié)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人徐方;趙嘉博;李學威;宋吉來;何偉全;張一博;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201310451948.4
- 申請時間2013年09月28日
- 申請公布號CN104511907A
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號B25J15/08(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;
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