摘要:本發(fā)明涉及機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域,提供了一種手指間距可調(diào)的機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。其中機(jī)械手包括:至少2個手指單元;至少2個調(diào)節(jié)桿,調(diào)節(jié)桿的一端與手指單元轉(zhuǎn)動連接,調(diào)節(jié)桿(的另一端與第一滑塊轉(zhuǎn)動連接;第一滑塊沿第一導(dǎo)軌運(yùn)動,第一導(dǎo)軌沿手指單元的機(jī)械手指方向設(shè)置;手指單元的側(cè)邊設(shè)有第二導(dǎo)軌,第二導(dǎo)軌沿豎直方向設(shè)置,手指單元通過第二滑塊沿第二導(dǎo)軌運(yùn)動;第一滑塊沿第一導(dǎo)軌運(yùn)動,驅(qū)動調(diào)節(jié)桿轉(zhuǎn)動呈收縮或放開狀態(tài),帶動手指單元沿第二導(dǎo)軌做上下運(yùn)動。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人徐方;趙嘉博;李學(xué)威;宋吉來;何偉全;張一博;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201310451948.4
- 申請時間2013年09月28日
- 申請公布號CN104511907A
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號B25J15/08(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;




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