摘要：本發(fā)明涉及機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種手指間距可調(diào)的機(jī)械手及其晶圓搬運(yùn)裝置。其中機(jī)械手包括：至少2個(gè)手指單元；至少2個(gè)調(diào)節(jié)桿，調(diào)節(jié)桿的一端與手指單元轉(zhuǎn)動(dòng)連接，調(diào)節(jié)桿（的另一端與第一滑塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第一滑塊沿第一導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，第一導(dǎo)軌沿手指單元的機(jī)械手指方向設(shè)置；手指單元的側(cè)邊設(shè)有第二導(dǎo)軌，第二導(dǎo)軌沿豎直方向設(shè)置，手指單元通過(guò)第二滑塊沿第二導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；第一滑塊沿第一導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)桿轉(zhuǎn)動(dòng)呈收縮或放開(kāi)狀態(tài)，帶動(dòng)手指單元沿第二導(dǎo)軌做上下運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)機(jī)械手指間距的有效調(diào)節(jié)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司;
- 發(fā)明人徐方;趙嘉博;李學(xué)威;宋吉來(lái);何偉全;張一博;
- 地址110168 遼寧省沈陽(yáng)市渾南新區(qū)金輝街16號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310451948.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年09月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104511907A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年04月15日
- 分類(lèi)號(hào)B25J15/08(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;
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