摘要：一種半導體熱處理設備超溫與斷偶報警的處理裝置及方法，該方法包括：溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫熱偶的溫信號和/或斷偶信號：當溫度監(jiān)控表的一個輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫熱偶的溫信號產(chǎn)生，該溫區(qū)對應的溫控表超溫報警延時繼電器開始計時，同時如果溫度監(jiān)控表的另一輸出端在延時時間周期中，沒有斷偶信號輸出，則使爐體加熱繼電器得電其常閉觸點斷開，從而控制加熱使能繼電器失電而斷掉加熱，并向PLC發(fā)出超溫報警信號；若延時時間周期中有斷偶信號輸出，則斷偶報警繼電器的常閉觸點斷開，溫控表超溫報警延時繼電器計時復位，并向PLC發(fā)出斷偶報警。因此，本發(fā)明提高了設備的可靠性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王凱;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410072702.0
- 申請時間2014年02月28日
- 申請公布號CN103792972B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號G05D23/22(2006.01)I;
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