摘要：本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的溫度控制方法，包括：獲取所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的控制熱偶所測量的溫度值；根據(jù)所述控制熱偶所測量的溫度值與所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備的溫度設(shè)定值，計算所需加熱的功率值；根據(jù)所述功率值，對所述半導(dǎo)體熱處理設(shè)備進行加熱。根據(jù)本發(fā)明，不再采用溫度儀表的方式來控制爐體的溫度，而是將通過溫度采集模塊采集到的溫度，直接傳給計算機，經(jīng)計算機的內(nèi)嵌的計算方法，根據(jù)爐體實際溫度與設(shè)定溫度間的偏差，計算出此時此刻爐體所需的功率值，將計算所得的功率值傳給功率輸出裝置，實時地對爐體進行控制，從而達到對爐體溫度的控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人曹志剛;楊海燕;鄭建宇;楊浩;李凡;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201310314476.8
- 申請時間2013年07月24日
- 申請公布號CN103389752B
- 申請公布時間2015年12月09日
- 分類號G05D23/22(2006.01)I;
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