摘要：一種半導(dǎo)體熱處理設(shè)備超溫與斷偶報(bào)警的處理裝置及方法，該方法包括：溫度監(jiān)控表根據(jù)采集每個(gè)溫區(qū)熱電偶采集的溫度信息，產(chǎn)生超溫?zé)崤嫉臏匦盘?hào)和/或斷偶信號(hào)：當(dāng)溫度監(jiān)控表的一個(gè)輸出端有某一段或多段溫區(qū)的超溫報(bào)警信號(hào)產(chǎn)生，該溫區(qū)對(duì)應(yīng)的溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器開始計(jì)時(shí)，同時(shí)如果溫度監(jiān)控表的另一輸出端在延時(shí)時(shí)間周期中，沒有斷偶信號(hào)輸出，則使?fàn)t體加熱繼電器得電其常閉觸點(diǎn)斷開，從而控制加熱使能繼電器失電而斷掉加熱，并向PLC發(fā)出超溫報(bào)警信號(hào)；若延時(shí)時(shí)間周期中有斷偶信號(hào)輸出，則斷偶報(bào)警繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，溫控表超溫報(bào)警延時(shí)繼電器計(jì)時(shí)復(fù)位，并向PLC發(fā)出斷偶報(bào)警。因此，本發(fā)明通過硬件電路的方式對(duì)超溫報(bào)警斷加熱，而非通過上位機(jī)軟件或PLC程序處理，提高了設(shè)備的可靠性。
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